- Overførsel af substrater
- Load-locks
- Vakuumkamre
- Gentagelig kapacitet
- Præcis håndtering
- Mindre indgriben
Beskrivelse
SIASUN SM15 Vacuum Robot flytter substrater (f.eks. wafere) eller følsomme dele mellem slusekamre, vakuumkamre og interne stationer i integrerede procesværktøjer.
Understøtter stabil gennemstrømning, præcis håndtering og mindre menneskelig indgriben i halvlederproduktion.
SM15 bruges til vakuumhåndtering inden for halvledere, inspektion og industri.
Kontakt os for pris og tilgængelighed.
Funktioner
Specifikationer
| Model | SM15 |
|---|---|
| Robottype | Vakuumrobot |
| Tilsigtet brug | Procesværktøjer til halvledere |
| Mærke | SIASUN |
Brancher
Ofte stillede spørgsmål
Kontakt os for aktuelle priser, tilgængelighed og et skræddersyet tilbud på SIASUN vakuumrobot SM15.
SIASUN SM15 Vacuum Robot overfører substrater mellem load locks og procesværktøjets stationer. Præcis håndtering for høj kapacitet i halvlederproduktion.
SIASUN vakuumrobot SM15 er velegnet til industrielle anvendelser.
Ja. Robotix Market leverer i hele verden med fuld logistiksupport, toldhåndtering og hjælp efter købet.
Ja. Robotix Market leverer til virksomheder i hele verden med fakturering og eftersalgssupport. Kontakt os for et tilbud.
Senest sete
Du har ikke set nogen produkter endnu.
