- Direkte drev, design uden remme En motoropbygning uden gear og remme reducerer slør og mekaniske slidpunkter for en jævnere og mere pålidelig overførselsbevægelse.
- Egnet til vakuummiljøer Bygget til lav partikeldannelse og kontrolleret afgasning, så wafere bevæger sig gennem vakuumværktøjer uden at bryde det kontrollerede miljø.
- Håndtering af følsomme substrater Overfører wafere mellem load locks, overførselskamre og procesmoduler som deponerings-, ætse- og metrologistationer.
- Vibrationskontrolleret bevægelse Bevægelserne er indstillet til at minimere vibrationer under pluk, placering og transport og beskytter værdifulde substrater.
- Integrationsklar styring Leveres med en bevægelsescontroller og I/O-grænseflader, herunder et opdateret I/O-modul, til tilslutning af sikkerhedsforriglinger på værktøjsniveau og fabrikssignaler.
- Gentagelig overførsel med høj kapacitet Ensartet håndtering med endeeffektoren understøtter gentagelighed, kapacitet og kontaminationskontrol i procesudstyr til halvledere.
Beskrivelse
SIASUN Vacuum Robot Phoenix er en robot til vakuumoverførsel i halvleder- og renrumsproduktion, konstrueret til at flytte wafere og andre følsomme substrater mellem vakuumsluser, overførselskamre og procesmoduler som deponerings-, ætse- og metrologistationer uden at bryde det kontrollerede miljø. Bevægelserne er afstemt til stabil og jævn overførsel under vakuumforhold, hvor lav partikeldannelse, kontrolleret afgasning og vibrationskontrol er afgørende for at beskytte substrater af høj værdi.
Phoenix har en direkte drevet arkitektur, der mindsker afhængigheden af gear og remme, så slør og mekaniske slidpunkter reduceres for jævnere og mere gentagelige bevægelser. Den leveres som en integrationsklar platform med bevægelsesstyring og I/O-grænseflader og er velegnet til halvleder-, renrums- og industrielle vakuumhåndteringsapplikationer, hvor gentagelighed, kapacitet og kontaminationskontrol har betydning. Kontakt os for detaljerede specifikationer, priser og tilgængelighed.
Funktioner
Specifikationer
| Mærke | SIASUN |
|---|---|
| Model | Vakuumrobot Phoenix (PHOENIX B-serien) |
| Robottype | Vakuumrobot til waferoverførsel |
| Drivarkitektur | Direkte drev, uden gear og remme |
| Miljø | Vakuum / renrum (halvlederudstyr) |
| Håndtering | Wafers og følsomme substrater via endeeffektorblad |
| Styring og I/O | Bevægelsescontroller med integreret I/O-modul til værktøjsintegration |
| Typiske anvendelser | Overførsel ved deponering, ætsning og metrologi i procesudstyr til halvlederproduktion |
Brancher
Ofte stillede spørgsmål
Kontakt os for aktuel pris, tilgængelighed og et skræddersyet tilbud på SIASUN vakuumrobot Phoenix.
Det er en vakuumoverføringsrobot, der flytter wafere og andre følsomme substrater mellem load locks, overføringskamre og procesmoduler som deponerings-, ætse- og metrologistationer uden at bryde det kontrollerede vakuummiljø.
Den gearløse og remløse konstruktion med direkte træk fjerner mellemliggende transmissionskomponenter, hvilket reducerer slør og mekaniske slidpunkter og giver blødere, mere gentagelige bevægelser ved præcisionsoverførsel.
Ja. Phoenix leveres som en integrationsklar platform med bevægelsescontroller og I/O-grænseflader, herunder et opdateret I/O-modul, til tilslutning til sikkerhedsforriglinger på værktøjsniveau og signaler fra fabriksautomationen. Detaljerede numeriske specifikationer oplyses pr. konfiguration.
Ja. Robotix Market leverer til virksomheder i hele verden med fakturering og eftersalgssupport. Kontakt os for et tilbud.
Senest sete
Du har ikke set nogen produkter endnu.
