- VTM-drift
- Overførselskammer
- Siliciumwafere
- Proceskamre
- Renhed
- Positioneringsnøjagtighed
Beskrivelse
SIASUN PHOENIX Series vakuummanipulator arbejder i et vakuumoverførselsmodul (VTM) eller et overførselskammer i et clusterværktøj. Den flytter substrater (typisk siliciumwafere) mellem lastsluser og flere proceskamre.
Den overholder strenge renhedskrav, positioneringsnøjagtighed og krav til oppetid som en del af front-end-automatiseringens økosystem.
Phoenix Series er beregnet til opgaver inden for halvledere, logistik, forskning og inspektion.
Kontakt os for pris og tilgængelighed.
Funktioner
Specifikationer
| Model | Vakuummanipulator PHOENIX-serien |
|---|---|
| Robottype | Vakuummanipulator |
| Tilsigtet brug | VTM-clusterværktøj |
| Mærke | SIASUN |
Brancher
Ofte stillede spørgsmål
Kontakt os for aktuel pris, tilgængelighed og et skræddersyet tilbud på SIASUN vakuummanipulator i Phoenix-serien.
SIASUN PHOENIX Vacuum Manipulator arbejder i vakuumoverførselsmoduler og clusterværktøjer. Håndtering af siliciumwafere med skrappe krav til renhed og positioneringsnøjagtighed.
SIASUNs vakuummanipulator i Phoenix-serien er velegnet til industrielle anvendelser.
Ja. Robotix Market leverer i hele verden med fuld logistiksupport, toldhåndtering og hjælp efter købet.
Ja. Robotix Market leverer til virksomheder i hele verden med fakturering og eftersalgssupport. Kontakt os for et tilbud.
Senest sete
Du har ikke set nogen produkter endnu.
