- EFEM-frontendgrænsefladen forbinder fabrikkens materialetransportsystem med procesværktøjets interne overførselsmiljø for standardiseret overlevering af wafere.
- SEMI-kompatibelt design Præsenteret som et interfacesystem, der er kompatibelt med SEMI-standarderne for kommunikation og integration af udstyr.
- Toarmet overførselsrobot En toarmet robot med en ekstern akse sørger for yderst effektiv waferhåndtering i værktøjets front end.
- Kompakt fodaftryk Den pladsbesparende konstruktion passer til front ends på fab-udstyr med begrænset plads.
- Fleksibel transportkoordinering Flytter wafere manuelt eller i samspil med fabrikkens transportsystemer som f.eks. loftsbaserede systemer.
- Kontamineringskontrol Understøtter gentagelige waferoverførsler og mindsker operatørens kontakt med kritiske substrater.
Beskrivelse
SIASUN TSS-3000 er et EFEM (Equipment Front End Module) til halvlederproduktion og fungerer som den kontrollerede grænseflade mellem fabrikkens materialetransportsystem og et procesværktøjs interne overførselsmiljø. Det koordinerer indlæsning, justering og overdragelse af wafers og hjælper med at opretholde kontamineringskontrol og standardiseret, SEMI-kompatibel kommunikation mellem udstyr. TSS-3000 er designet med et lille fodaftryk og bruger en toarmet overførselsrobot med en ekstern akse til at flytte wafers manuelt eller koordineret med fabrikkens transport, f.eks. overheadsystemer, hvilket understøtter effektiv og gentagelig waferhåndtering ved værktøjets front. Det er velegnet til renrumsmiljøer i waferfabrikker, hvor der kræves standardiserede grænseflader og mindre operatørkontakt med kritiske substrater. Kontakt os for pris og tilgængelighed.
Funktioner
Specifikationer
| Mærke | SIASUN |
|---|---|
| Model | TSS-3000 |
| Robottype | EFEM (Equipment Front End Module) / front-end-system til waferoverførsel |
| Grænseflade | SEMI-kompatibel front-end-grænseflade |
| Overførselsrobot | Robot med to arme og en ekstern akse |
| Grundflade | Kompakt / lille fodaftryk |
| Betjening | Manuelt eller koordineret med fabrikkens transportsystem (f.eks. loftsbaserede systemer) |
| Typiske anvendelser | Front-end-håndtering i waferfabrikker, waferpåfyldning og justering/overdragelse |
Brancher
Ofte stillede spørgsmål
Kontakt os for aktuelle priser, tilgængelighed og et skræddersyet tilbud på SIASUN portalrobot.
Det er en kartesisk portalrobot til gentagelig materialehåndtering, oftest på- og aflæsning af CNC-maskiner, overførsel mellem operationer og procesautomatiseringslinjer på fabriksgulvet.
Ja. Med sit store arbejdsområde og en skalerbar skinnelængde kan én portalrobot betjene flere CNC-maskiner eller arbejdsstationer og dermed mindske antallet af selvstændige håndteringsenheder.
Dens endeeffektor-interface tager pneumatiske eller servodrevne gribere, vakuumsugekopper, magnetgribere og værktøjsskiftere, så den kan konfigureres til emnehåndtering, plane eller jernholdige overflader og celler med flere operationer.
Ja. Robotix Market leverer til virksomheder i hele verden med fakturering og eftersalgssupport. Kontakt os for et tilbud.
Senest sete
Du har ikke set nogen produkter endnu.
